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电子枪的分类和功能介绍

2023.1.04

电子枪的结构有许多形式。根据枪体结构不同,可分为轴向电子枪(直形自加速电子枪)、环形电子枪(静电场偏转电子枪)。

 

轴向电子枪

灯丝阴极发射电子,阳极对电子加速。调制极位于灯丝与阳极之间,对电子束电流起调节和初聚作用。聚焦极对调制极初聚的电子流进一步聚焦以获得更细的合适束斑。由于聚焦线圈的应用,使直形电子枪可以得到100kW/cm2以上的高能密度,而且易控制调节。因此,所用的大功率电子束应用设备多采用轴向枪。

轴向枪的发明者是Pierce,为了纪念这位发明家,人们也将轴向枪称为“Pierce枪”。

 

环形电子枪

环形枪结构简单、成本低,并能以简单的电源装置工作。枪体由环形灯丝、阳极、阴极、聚焦线圈和偏转线圈等组成。环形灯丝处于负高压,用做热电子发射源,在聚焦极的定向反射和阳极的加速作用下,使电子束会聚于坩埚蒸发源中心。环形枪和直形枪在使用时,高能电子束轰击材料将发射二次电子。

 

强流轴向电子枪

由于轴向枪其有着一系列优点,使枪的寿命大大延长,故被国内外广泛采用。

强流电子枪可根据电子注形状分为两类:产生轴对称实心电子注的称为“O”型电子枪,产生片状及管状电子注的称为“M”型电子枪。“O”型电子枪广泛用于大功率电子注加工及冶炼设备中,是得到广泛应用的一种。导流系数的不同会引起设计方法的不同,所以在“O”型枪设计中又区分为低导枪和高导枪两种。

 

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