真空气体流量调节元件相关简介
从原理上讲，一般手动真空调节阀，配上适当的控制电机（如伺服电机、步进电机等）或液压缸，通过调节控制电机或液压缸的控制信号，使控制电机或液压缸动作，从而改变真空阀的流导，于是改变了流过真空阀的气体流量，完成在真空装置中真空室的真空度的自动调节。但是，目茼我国真空仪器厂家生产的真空气体流量调节阀仅有电磁调节式、质量流量计式及压电式三种，而国产压力控制仪多选用压电阀作为真空气体流量调节元件。
压电阀是利用压电效应制成的一种真空气体流量调节阀。压电阀的核心部件是由压电陶瓷制成的具有压电特性的膜片。当在压电陶瓷膜片上施加一控制电压时，它将会产生正比于外加电压值大小的变形。同时，带动密封垫移动。于是压电阀流导产生变化，从而改变气体通过压电阀的流量。当压电陶瓷膜片上未施加控制电压时，由于弹簧的机械力作用在压电陶瓷膜片和密封垫上，使压电阀气路关闭。因而，可以通过改变施加在压电陶瓷膜片上的控制电压的大小，来改变压电阀的流导，从而改变流过压电阀的气体流量。于是，可实现真空装置的真空室中的真空度调节。
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