干涉显微镜的主要类型
干涉显微镜分为双光束和多光束两类,采用通过样品内和样品外的相干光束产生干涉的方法,把相位差(或光程差)转换为振幅(光强度)变化的显微镜,根据干涉图形可分辨出样品中的结构,并可测定样品中一定区域内的相位差或光程差,通常测定工件加工光洁度及高度差约为1/10波长的显微组织可采用双光束干涉显微镜,林尼克干涉显微镜即属这一类。
而多光束干涉显微镜能显示试样表面相邻两点为l/1 000波长的高度差,因此在金相组织的分析中有重要意义。
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而多光束干涉显微镜能显示试样表面相邻两点为l/1 000波长的高度差,因此在金相组织的分析中有重要意义。