现场示范结果还表明，通过对循环氢气进行纯化，仅有的两批采用合成SiHCl3生产的多晶硅，质量均达到了电子级的标准;对于循环氢气中含量有时会突然增大的甲烷或者氮气，本纯化装置可以不断将这些杂质从体系去除，经过十几小时的运转，使大循环体系的氢气质量得到明显改善，甲烷和氮气含量恢复正常值;采用纯化后的氢气生产多晶硅，产品中金属B和P的含量相对稳定，说明该纯化器可以为多晶硅稳定生产发挥保障作用。
该技术可应用于我国几十家多晶硅企业提升多晶硅生产技术，这对于推动电子信息、半导体、LED照明和光伏发电等战略性新兴产业发展具有重要意义。