简介显微分光光度计的系统配置
型号：MSP300R 探测器：2048像素的CCD阵列 光源：直流稳压卤素灯 光传送方式：光纤 自动的台架平台：特殊处理的铝合金操作平台，手动调节移动范围为75mm×55mm 物镜有着长焦点距离:4×，10×，50× 通讯接口：USB的通讯接口与计算机相连 测量类型：反射/透射光谱、薄膜厚度/反射光谱和特性参数 计算机硬件：英特儿酷睿2双核处理器，200G硬盘、DVD刻录机，19”LCD显示器 电源：110–240V AC/50-60Hz，3A 尺寸：16’x16’x18’ (操作桌面设置) 重量：120磅总重 保修：一年的整机及零备件保修基本参数：
波长范围：400nm到1000 nm 波长分辨率: 1nm 光斑尺寸：100µ；m (4x), 40µ；m (10x), 8µ；m (50x) 样品尺寸：标准150×150mm 基片尺寸：最多可至20mm厚 测量厚度范围: 10nm 到25 µ；m 测量时间：最快2毫秒 精确度：优于0.5%（通过使用相同的光学常数，让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较） 重复性误差：小于2 Ǻ
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