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原子力显微镜与扫描力显微术斥力模式

2019.12.20


斥力模式原子力显微镜(AFM) 

     微悬臂是原子力显微镜(AFM)关键组成部分之一,通常由一个一般100~500μm长和大约500nm~5μm厚的硅片或氮化硅片制成。微悬臂顶端有一个尖锐针尖,用来检测样品-针尖间的相互作用力。对于一般的形貌成像,探针尖连续(接触模式)或间断(轻敲模式)与样品接触,并在样品表面上作光栅模式扫描。通过计算机控制针尖与样品位置的相对移动。当有电压作用在压电扫描器电极时,它会产生微量移动。根据压电扫描器的精确移动,就可以进行形貌成像和力测量。原子力显微镜(AFM)设计可以有所不同,扫描器即可以使微悬臂下的样品扫描,也可以使样品上的微悬臂扫描。原子力显微镜(AFM)压电扫描器通常能在(x,y,z)三个方向上移动,由于扫描设计尺寸和所选用压电陶瓷的不同,扫描器最大扫描范围x、y轴方向可以在500nm~125μm之间变化,垂直z轴一般为几微米。好的扫描器能够在小于1Å尺度上产生稳定移动。

     通过在样品表面上扫描原子力显微镜(AFM)微悬臂(或使微悬臂下的样品移动)并且记录微悬臂的形变,可以测量样品表面的起伏高度。将样品的局域起伏高度对应探针尖的水平位置绘图,即可得到样品表面的三维形貌图像。利用轻敲模式技术,测量振荡微悬臂的振幅或相位变化,也可以对样品表面进行成像。


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