全固态薄膜锂电池正极薄膜的研究
薄膜锂电池的正极材料初期主要是Ti2S3、MoS2、MnO₂等，随后被电位更高的正极材料代替，如V2O3、LiCoO2、LiNiO2、LiMn2O4。薄膜制备技术也从初期的蒸镀、旋涂、溅射等技术不断完善增加。
钒氧化物和钒酸锂类正极材料一直是正极材料研究的重要方向，其作为薄膜锂电池的正极材料具有不需要退火的加工优势，可以加工在一些不耐高温的衬底上。
LiCo04是商业化薄膜锂电池采用的正极材料（ITN），美国很多电池体系均采用其作为正极薄膜的材料，其有比能量高、循环性能好等优点，研究十分活跃。采用磁控溅射或脉冲激光沉积的LiCoO4薄膜为无定形结构，容量低、循环性能差，需要经过700℃以上的退火，才能得到容量高、循环性能好的晶体结构的LiCoO2薄膜，这就限制了Li-Co02电极对衬底材质的选择。
纳米晶体的LiCoO4放电性能虽然不如700℃退火的LiCoO2薄膜，但比未退火的薄膜性能有明显改善，针对聚合物等不耐高温的衬底有一定的应用价值。Park等在射频磁控溅射中加入偏压，制备出了不需要退火也具有一定容量、循环能力。
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