太阳能电池制备用大口径闭管高温扩散/氧化系统是晶体硅太阳能电池生产线上的关键设备，涉及物理、机械、化学、电子、流体力学、分子力学、光学、热工学、计算机控制、自动控制等10余门学科的前沿技术。

    《大口径闭管高温扩散/氧化设备》项目通过攻克大口径闭管高温扩散最佳工艺技术，大口径长温区高精度温度控制技术，高温炉门自动密闭机构设计技术等关键技术，成功研制开发出具有国际先进水平的用于太阳能电池制造的生产型大口径闭管高温扩散/氧化系统，建立起拥有自主知识产权的生产型大口径闭管高温扩散/氧化系统与工艺研发及产业化生产基地，实现了光伏产业链中的关键工艺设备国产化和产业化。申请了2项ZL，打破了国外技术垄断，设备各项技术指标均达到国际先进技术水平。对增强国内光伏企业的核心竞争力，实现国内光伏产业健康有序地可持续发展有着非常重要的意义。