泰斯肯中标吉林大学聚焦离子束电镜光谱制样联用系统
分析测试百科网讯 近日，吉林大学聚焦离子束电镜光谱制样联用系统（JLU-ZC19100）招标采购项目评标工作已结束，功能扩展性要求投标产品可扩展安装飞行二次质谱仪（TOF-SIMS）或拉曼光谱单元（需提供证明文件及至少两名国内用户）。此次采购共计1套，中标品牌：TESCAN SOLARIS，中标总金额：467.6166 万元（人民币）。中标详情及技术要求如下：
采购项目名称：聚焦离子束电镜光谱制样联用系统（JLU-ZC19100）
招标编号：JLU-ZC19100
招标公告日期：2019年08月26日
定标日期：2019年09月17日
总中标金额：467.6166 万元（人民币）
中标结果：
评标委员会成员名单：
张伟、周英、曹学静、陈岐岱、李冬妹
中标标的名称、规格型号、数量、单价、服务要求：
聚焦离子束电镜光谱制样联用系统 型号：TESCAN SOLARIS 数量1套 单价66万美元 质保期：整机12个月（发射电子源24个月）
技术要求：
聚焦离子束电镜光谱制样联用系统 数量 1套
一、工作条件
1. 电源电压：230V±10V, 单相 50Hz；
2. 工作温度：18℃～24℃；
3. 湿度：≤ 60% RH；
4. 仪器具备主动电磁减震系统。
二、主要技术要求
1. 成像系统技术要求
1.1 电子发射源：肖特基(Schottky)型热场发射电子源，发射电子源质保2年。
1.2 分辨率：二次电子像分辨率≤0.7nm （15kV），≤1.0 nm （1kV），≤1.2nm （200 V）；背散射电子像分辨率≤1.6nm （15kV）。
1.3 加速电压：调整范围：0.05-30 kV,调整步长≤100V。
1.4 束流强度可至3 pA to 400 nA。
1.5 放大倍数范围：5-2000000倍，粗、细调模式连续可调。
1.6 电子光学工作模式至少包含：超高分辨率模式、景深模式、分析模式，可以观察和分析磁性样品，并提供大视野观测样品。
1.7 具有无交叉斑技术，能通过超高分辨透镜的组合提供高图像质量。
1.8 扫描速度20ns–10ms/pixel多档可选，可实现全帧、选区、定点、线扫描。
1.9 可模拟和实现电子束优化。
1.10 具备自保护功能的2kW不间断电源1套。
2. 离子束技术要求
2.1 离子源种类：液态金属Ga离子源。
2.2 离子束图像分辨率：≤2.5nm @ 30kV（束流交叉点位置）。
2.3 加速电压：0.5kV -30 kV或更宽，连续可调。
2.4 最大束流强度：≥100nA，结合高速切割技术，可实现快速的大体积样品处理。
2.5 具有不少于30档压电控制的自动光阑。
2.6 离子源寿命：≥3000uAh（保证寿命）。
2.7 配置Pt沉积气体注入系统，独立气路。后期保证最高可支持6支单GIS。
2.7.1 快速升温，由安装气源载体至开始沉积工作的时间小于2分钟；
2.7.2 独立气体注入器；
2.7.3 采用气动驱动模式，1秒内到达工作位置；
2.7.4 位置重复性优于15um。
2.8 具有全自动的压电控制可对离子镜筒进行全自动的对中维护。
2.9 配置TEM样品制备所需的纳米机械手。
2.9.1 PC软件控制针的移动；
2.9.2漂移：≤50nm/min；
2.9.3步长精度：≤100nm。
3. 样品室
3.1 样品腔内部不小于340mm，高度不小于315mm。
3.2 最大样品尺寸：不小于 160mm（直径），保证无死角观察全样品。
3.3 样品置换时间（抽真空时间）：不大于 3.5分钟。
3.4 附件接口：在样品室上提供不少于20个附件接口。
3.5 配置主动式电磁减震（原厂提供）。
4. 样品台
4.1 类型：5轴全自动马达驱动，优中心控制。
4.2 移动范围：X方向不小于250 mm,Y方向不小于150mm,Z方向不小于50mm,倾斜角度不小于﹣3°到70°，可360°连续旋转。
4.3 该样品台可用于后期升级拉曼光谱联用系统，也可以用于拉曼光谱单独使用。
5. 采用无油真空系统
5.1 无油真空系统：机械泵＋涡轮分子泵＋离子泵；全自动真空控制。
5.2 电子枪真空度：优于3.0×10-7 Pa。
5.3 离子枪真空度：优于5.0×10-6 Pa。
5.4 样品室真空度：优于5.0×10-4 Pa。
6. 探测器：配置至少7个探测器
6.1 样品室内二次电子晶体探测器。
6.2 样品室内电动可伸缩式LE-BSE探测器。
6.3 镜筒内背散射探测器，进一步提升试样表面的敏感度。
6.4 镜筒内二次电子探测器。
6.5 中角度背散射电子探测器，可兼顾形貌及衬度成像。
6.6 可伸缩型阴极荧光探测器，波长接收范围：185 nm -850 nm。
6.7 样品室内红外CCD相机，分辨率不小于720×540。
7. 系统控制
7.1 Windows10 64位专业版操作系统的图形用户界面，操控功能可由键盘，鼠标，操控面板等完成。
7.2 图像显示： 32"LCD显示器, 分辨率不低于2560×1440。
7.3 图像文件最高解析度：不低于16384× 16384像素。
7.4 文件格式：包含但不限于TIFF，BMP或JPEG格式
7.5 计算机配置：采用品牌计算机工作站，配置不低于Intel® Core i7-8700六核3.20 GHz，16GB内存，HDD 2TB硬盘，nVIDIV GTX1060 3GB操作系统及应用软件.
8. 应用软件
8.1 应具备数据显示（加速电压、放大倍数、微标尺、工作距离、日期、时间、真空度、探测器）。
8.2 应具备标注功能（图形类(圈、矩形、箭头、测量线)、文字等）。
8.3 应具有测量功能，能测量试件的长宽高、直径、周长、面积等。
8.4 应提供远程控制/诊断功能，保证操作者的使用直观便捷化。
8.5 应具备图像及坐标导航及光镜-电镜连用功能，可兼容不同光镜厂商的光镜产品。
8.6 具备样品室内部3D模型示意功能，防止碰撞，直观的显示试样和各部件的几何关系。
9. 功能扩展性：投标产品可扩展安装飞行二次质谱仪（TOF-SIMS）或拉曼光谱单元（需提供证明文件及至少两名国内用户）。
三、附件备件数量及规格
1. Control Panel：多功能控制面板（1块）；
2. 电镜-光镜联用软件（1套）；
3. 2KW，延时1小时，具备整机系统自保护功能的不间断电源（1套）；
4. 能谱仪接口板（1块）；
5. 空压机（1台）；
6. 水冷却循环系统（1套）。
