2005年，芯源公司成为国内首家将国产设备推入集成电路8英寸主流生产线，摆脱了我国集成电路制造设备依赖进口的状况。2007年公司研制的
12英寸先进封装涂胶设备，取得国产集成电路装备在晶圆尺寸和新工艺应用上的重大突破。几年来，企业和产品在同行业形成了品牌影响。目前，适应更高技术等级的12英寸匀胶、显影、刻蚀设备，作为国家科技02专项攻关产品已完成样机研发，进入大线考核验证，其中匀胶、显影设备已进入应用采购。
芯源公司产品是辽沈地区发展IC装备产业链的整机设备代表，对带动本地区相关产品的技术提升与发展，促进本地区IC装备及零部件产业的建立与发展，改造传统产业结构将起到积极的推动作用。