场发射扫描电子显微镜的操作-检查真空系统
电镜中的真空系统一般由真空泵、管道、真空阀门和真空测量装置组成。高真空度可减少电子与气体分子的碰撞，增加灯丝寿命，所以必须高度关注真空系统，定期记录系统真空和枪真空数值，或是打开真空监控器（Gun Monitor）实时监控真空值。对于ULTRA PLUS扫描电子显微镜，需保证系统真空值不小于5.0×10－4Pa，枪真空不低于1.0×10－7Pa。若真空值低于正常状态需进行必要的检查和维护保养，如检查各真空系统部件或进行烘烤操作，具体方法如下：
（1）观察真空装置的启动顺序及启动时间。ULTRA PLUS扫描电子显微镜真空的启动顺序为机械泵、涡轮分子泵、潘宁规、离子泵。一般换试样抽真空时间为3min。如时间过长，需检查真空装置是否为异常启动情况。
（2）判断分子泵前级泵的工作状态。定期查看分子泵的功率状态，操作方法为：打开分子泵控制器，查看分子泵功率，若小于10W，则分子泵前级泵（机械干泵）无过多附加阻力，为正常状态；否则，说明前级泵存在过多负载。
（3）机械干泵的维护。机械干泵中密封圈为易耗品，随着机械摩擦时间的增加，密封圈变小，给分子泵带来过多负载，抽真空时间变长。一般情况下，机械干泵的维护需在1～2a（年）内进行，即更换密封圈。
（4）若以上问题均可排除，则可考虑进行烘烤操作，以提高真空度。
以ULTRA PLUS扫描电子显微镜真空异常情况为例，解释说明真空故障排除的思路。
在转换高压或更换试样时发现抽真空时间过长，有时甚至可达十几分钟或半小时。于是，首先检查样品室O型圈是否脱落，排查机械密封问题；然后更换洁净、体积小的待测试样排查特殊试样干扰，然后查看真空值大小及阶段性抽真空速度，判断机械泵或离子泵等真空泵的状态；如均无异常现象则进一步观察电镜操作软件中真空状态的提示，判断是否为分子泵控制器的问题或其他硬件问题；如仍未发现规律性可疑问题则与维修工程师联系，最后重新插拔了高压线接触点，解决了该真空故障问题。
