光刻机冷却循环装置常见系统故障
1、回液：对于使用膨胀阀的制冷系统，回液与膨胀阀选型和使用不当密切相关。膨胀阀选型过大、过热度设定太小、感温包安装方法不正确或绝热包扎破损、膨胀阀失灵都可能造成回液。对于使用毛细管的小制冷系统而言，加液量过大会引起回液。蒸发器结霜严重或风扇故障时传热变差，未蒸发的液体会引起回液。温度频繁波动也会引起膨胀阀反应失灵而引起回液。
2、带液启动：压缩机内的润滑油剧烈起泡的现象叫带液启动。带液启动时的起泡现象可以在油视镜上清楚地观察到。根本原因是润滑油中溶解的以及沉在润滑油下面了大量的制冷剂，在压力突然降低时突然沸腾，并引起润滑油的起泡现象，很容易引起液击。
3、排气温度过高：排气温度过高的原因主要有以下几种：回气温度高、电机加热量大、压缩比高、冷凝压力高、制冷剂的绝热指数、制冷剂选择不当。
4、液击：为了保证压缩机的运转，防止产生液击现象，要求吸气温度比蒸发温度高一点，即应具有一定的过热度。吸气温度正常情况下应比蒸发温度高。
5、吸气温度高：系统中制冷剂充注量不足，或膨胀阀开启度过小，膨胀阀口滤网堵塞，回气管道隔热不好或管道过长等。
6、排气温度过低：节流阀或者干燥过滤器冰堵或脏堵，以及过滤器堵塞，制冷剂充注量不足。
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