关于X 射线荧光仪真空系统的介绍
真空系统是 X射线荧光光谱仪的重要组成部分。仪器工作时，光谱室被抽成真空状态，以减少空气对 X 射线的干扰，提高仪器的分辨率。
真空系统容易出问题的地方主要有 3 部分：真空泵、样品室、光谱室。分析样品时，在快门打开之前，真空泵是与样品室相通的。当采用压片法进行分析时，由于抽真空会使一部分粉末抽到样品室内，因此，应该定期（一个季度一次）对快门台和样品室进行拆卸和清洗。另外，由于 X 射线的长期照射，快门的“○”形密封环会慢慢失效，因此，需要一年更换一次。光谱室最常见的漏气部位是流气计数器，流气计数器安装在光谱室内，如果它的窗膜很薄、漏气，就会影响光谱室真空。对于真空泵，主要是应该定期检查真空泵油的油质和油量，检查油质时如果有白色或黑色，就说明油质不正常，应该立即更换泵油。
此外，在检查真空故障，拆卸和安装各部件时，要小心操作，不要让灰尘或头发掉到密封圈上，以避免产生新的漏气点，安装时可以在密封部位涂一点真空油脂。
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