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【HORIBA 贴息贷款 】椭圆偏振光谱仪

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    产品名称:椭圆偏振光谱仪

    产地:法国

    型号:UVISEL PLUS


典型用户:NASA 戈达德太空飞行中心


01 仪器用途及应用范围:



UVISEL 是20 多年技术积累和发展的结晶,即使在透明的基底上也能对超薄膜进行最精确的测量。作为一款高准确性、高灵敏度、高稳定性的经典椭偏机型,它采用了PEM 相位调制技术,与机械旋转部件技术相比, 能提供更好的稳定性和信噪比。


先进功能材料

  • 薄膜厚度、光学常数表征

  • 材料/ 表面改性研究

  • 粗糙度、孔隙率表征

  • 渐变层、界面层等分析

  • 穿过率、反射率曲线测量


汽车

  • 薄膜厚度、光学常数表征

  • 表面粗糙度、孔隙率表征

  • 渐变层、界面层分析

  • 透射率、反射率测量

  • 涂层及镀层分析


半导体材料

  • 硅片上SiO2 薄膜厚度监控

  • 光刻胶n,k(190-2100nm)

  • SiN,SiO等膜厚测试

  • 第三代半导体外延薄膜厚度


能源/光

  • 薄膜厚度、光学常数表征

  • 工艺对镀膜的影响分析

  • 渐变层、界面层等分析

  • 膜层不均匀性成像分析

  • 在线监测


02 产品特点


50 KHz 高频PEM 相调制技术,测量光路中无运动部件

具备超薄膜所需的测量精度、超厚膜所需的高光谱分辨率

多个实用微光斑尺寸选项

可用于在线实时监测

自动平台样品扫描成像、变温台、电化学反应池、液体池、密封池等

配置灵活,测量范围可扩展至190 nm~2100 nm


03 索取样本、联系报价



如果您想了解更多关于产品仪器信息、索要仪器报价,欢迎扫描二维码留言,我们的工程师将会及时与您取得联系。

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