创新不止，精益求精——微区半导体参数测试仪全面升级

卓立汉光

2022.7.13

厚积薄发，彰显卓立匠心

从2003年开始步入拉曼领域至今，卓立汉光的技术实力不断沉淀，拉曼产品也在推陈出新，公司产品在材料、地质、生物、化学、医药、食品、刑侦等领域得到了广泛的应用。2022年，经过与半导体行业客户的长期探讨，基于卓立汉光成熟的RTS系列拉曼光谱测量系统与相关算法，旨在打造一台能够满足半导体行业用户对于多晶硅晶化率、应力测试、载流子迁移率测试需要的第三代半导体相关参数测试仪。
我们汲取了前几代产品的成功经验，对设备的硬件和软件上做了全方面的升级： • 使用了卓立汉光全新一代的影像校正光谱仪，成像质量增加优秀，波长重复性和准确性更高，让半导体参数测试的数据更加可靠； • 光纤共焦系统，光路稳定，满足工业复杂环境需要；

• 针对多晶硅晶化率、应力测试、载流子迁移率测试搭建的全新架构软件，直接给出测试结果。