ISO 25498:2018
微光束分析.解析电子显微测定法.透射式电子显微镜对选定区域进行电子衍射分析
Microbeam analysis - Analytical electron microscopy - Selected area electron diffraction analysis using a transmission electron microscope
- 标准号
- ISO 25498:2018
- 发布
- 2018年
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 25498:2018
- 引用标准
- ISO/IEC 17025
- 适用范围
- 本文件规定了使用透射电子显微镜 (TEM) 进行选区电子衍射 (SAED) 分析来分析薄晶体样品的方法。 本文件适用于微米和亚微米尺寸的测试区域。 通过这种方法可以分析的样品中选定区域的最小直径受到显微镜物镜的球面像差系数的限制，并且对于现代 TEM 而言接近数百纳米。 当分析样本区域的尺寸小于该限制时，本文件也可用于分析程序。 但是，由于球面像差的影响，图案中的一些衍射信息可以从由所选区域孔径定义的区域外部生成。 在这种情况下，如果可以的话，最好使用微衍射（纳米束衍射）或会聚束电子衍射。 本文件适用于从晶体样品中获取 SAED 图案、索引图案和衍射常数的校准。
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