T/SEPA 5—2022
局部放电EFPI光纤超声传感器探头MEMS制造技术 第2部分：残余应力测定与调控规程

MEMS fabrication technology of EFPI fiber optic ultrasonic sensor probe for partial discharge detection Part 2: measurement and regulation of residual stress

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标准号

T/SEPA 5—2022

发布日期

2022年12月01日

实施日期

2023年01月04日

废止日期

无

中国标准分类号

D441

国际标准分类号

29.020

发布单位

中国团体标准

适用范围

    局部放电（partial discharge, PD）会产生电磁和声波信号，辐射光并会造成绝缘材料的化学分解； 这些物理和化学的效应可以通过各类诊断性方法及相应的传感器进行检测。其中，应用声学法测量电力 设备绝缘缺陷产生的PD，通常可选用基于压电或声光效应的传感器。随着制造加工技术的发展，针对利用MEMS（Microelectromechanical System）技术制作PD EFPI（Extrinsic Fabry-Perot Interferometer）光纤超声传感器探头被大量采用，本文件针对“局部放电EFPI光纤超声传感器探头MEMS制造技术”，对“残余应力测 定与调控规程”进行描述，主要包括残余应力的分类与来源、应力测定以及应力调控，适用于电力设备PD EFPI超声传感器探头SOI芯片的残余应力测定与调控。