AS ISO 14644.3:2021
洁净室和相关受控环境 第 3 部分：测试方法
Cleanrooms and associated controlled environments, Part 3: Test methods
- 标准号
- AS ISO 14644.3:2021
- 发布
- 2021年
- 发布单位
- 澳大利亚标准协会
- 当前最新
- AS ISO 14644.3:2021
- 适用范围
- 同样采用ISO 14644 3:2019，它提供了支持洁净室和洁净区运行的测试方法，以满足空气洁净度分类、其他洁净度属性和相关受控条件。关键词：洁净室；受控环境；属性;测试方法
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