JB/T 5631-1991
半导体器件外延炉 能耗标准
Epitaxial furnace for semiconductor devices. Energy efficiency standard
JBT5631-1991, JB5631-1991
- 标准号
- JB/T 5631-1991
- 别名
- JBT5631-1991, JB5631-1991
- 发布
- 1992年
- 发布单位
- 行业标准-机械
- 当前最新
- JB/T 5631-1991
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