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光学玻璃的折射率是一种重要属性,因为光学表面的功率是从表面的曲率半径和表面任意一侧上的介质折射率之差得来的。玻璃制造商指定的 不均匀性是指玻璃折射率的变化。不均匀性是根据不同的等级来指定的,其中等级和不均匀性是互为相反关系的,随着等级的增加,不均匀性则会减少(表3)。...
光学组件的表面质量是对可能会在制造和处理过程中产生的表面缺陷(划痕和凹坑或麻点)的评估。表面质量对激光应用比对成像应用更重要,因为表面缺陷可能会引发激光诱导损伤。需要大功率的敏感系统也可能会因为表面缺陷而形成光通量变化和散射的增加。比起适用于可见光或 IR 系统的光学元件,适用于 UV 波长的光学元件对表面质量公差的要求更严格,因为波长越短,接受的散射量越高。...
1.电子光学系统 电子光学系统通常又称为镜筒,是电镜的最基本组成部分,是用于提供照明、成像、显像和记录的装置。2.真空系统 为保证电镜正常工作,要求电子光学系统应处于真空状态下。...
2.3 各种衍射光学部件的研制本文所研制的光学元器件包括X射线衍射金立柱及其列阵、菲涅尔波带片、分辨率板和光栅型均匀辐照的会聚镜。其工艺步骤如图 3所示。2.3.1 超高金立柱及其列阵作为无透镜成像的衍射元件,大高宽比金立柱是一个重要结构。运用图 3所示的工艺流程,本文在300 nm厚的SiNx上成功研制了直径为200 nm、高2 μm的单根独立金立柱,如图 4(a)~4(b)所示[39]。...
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