铂铝涂层工艺, 您可以免费下载预览页
在本文当中,孙教授团队利用MLD沉积铝氧烷所用的设备是美国Arradiance公司生产的型号为Gemstar-8 的台式ALD沉积系统,此套系统直接与手套箱相联,手套箱中为氩气气氛。在本工作之前,孙教授所在课题组已经利用MLD技术合成了铝氧烷,并且将铝氧烷涂层应用于提高碳/硫阴或碱金属阳的电化学特性。制备当中,他们采用三甲基铝和丙三醇作为前驱体,在150 ℃的条件下将,将前驱体依次通入腔体当中。...
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