在磨合阶段,µ首先降至0.38附近,因为此时盘片上薄而致密的氧化皮充当了固体润滑剂。随后它攀升至0.45,因为此时氧化层破裂引起接触表面粗化。此后,µ下降并稳定在0.3(干磨)和0.15(有NSO),这是因为此时接触表面生成了一层稳定的润滑层。对比干磨可以看到,有NSO润滑情况下,其反应层可使摩擦大幅下降50%。...
图1-2 仪器原理图2.温度对摩擦系数的影响随着温度的升高,部分薄膜的摩擦系数会表现出上升的趋势方面这是由高分子材料自身的特性决定的,另二方面与薄膜制造时所采用的润滑剂有关(润滑剂很有可能已经接近其熔点而变得黏结),温度升高后,测力曲线波动幅度增大,直至出现“滑黏”现象。在自动包装过程中,设备的实际温度由于元件运转散热会比室温高出一些,因此有必要在实际的包装环境温度下检测薄膜的摩擦系数。...
此类异常时有爆发,由于干膜显影后和电镀后发现部分干膜线路不齐整,呈犬齿状,因此怀疑点是干膜和铜面的附着力不足导致,故从影响干膜和铜面附着力等方面做了以下试验。表3 干膜收缩试验方案和结果分析从以上试验结果看,影响干膜和铜面附着力不足导致渗镀主要原因有:(1)曝光能量:曝光能量不足会产生渗镀。(2)显影点和显影药水浓度:显影点太低会产生渗镀。(3)电镀振动:电镀振动过大会产生渗镀。...
干摩擦(Dry Friction)两物体间名义上无任何形式的润滑剂存在时的摩擦。严格地说,干摩擦时在接触表面上无任何其他介质如湿气及自然污染源。 边界摩擦(Boundary Friction)作相对运动的两固体表面之间的摩擦磨损特性,主要由表面性质与极薄层的边界润滑剂性质所决定,而与润滑剂膜体积粘度特性关系不大的摩擦状况。 ...
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