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光学和光子学是应用于通信、计算、制造、健康、能源、国防、农业等诸多领域的关键使能技术，受到美国、欧盟、俄罗斯等主要国家和地区的高度重视。2014年4月，美国国家科学技术委员会公布了光学和光子学快速行动委员会（由16名成员组成，其中6名来自军方）的报告。五项“大挑战” 美国学术界、产业界和政府对审势本国光学和光子学研发活动、识别和设定科研重点的兴趣一直在增加。...
“目前，信息技术已经进入纳米时代，其中纳米光学和光子学的发展尤为重要，例如在纳米光刻、纳米成像和纳米信息存储等信息技术中，都有很重要的应用。” 在近日于上海举行的以“突破光学衍射极限的机制及应用”为主题的第188期东方科技论坛上，中科院院士干福熹在题为《突破光学衍射极限，发展纳米光学和光子学》的主题报告中指出，纳米光学和光子学器件的最小特征尺寸和加工分辨率，都受限于光的衍射极限。...
在后处理算法方面，根据原始检测图像来识别和定位各类缺陷，关键在于确保后处理图像中含缺陷区域的信号强度应明显大于预定义的阈值。 在该综述研究中，也总结了代表性晶圆缺陷检测新方法。具体可划分为明/暗场成像、暗场成像与椭偏协同检测、离焦扫描成像、外延衍射相位显微成像、X射线叠层衍射成像、太赫兹波成像缺陷检测、轨道角动量光学显微成像。 研究人员认为，基于深度学习的缺陷检测方法的实施流程非常简单。...
他认为发展光学或是光子学器件，应把纳米光学器件和纳米光子学器件的研究放在很重要的位置，突破光学衍射极限，发展纳米光刻技术。同时呼吁业界学者要清晰对光学、光子学的概念，并希望各位学者能够各抒己见，共同推进信息光学和光子学的发展。苏州大学陈林森教授和中科院物理所李志远研究员也分别做了“纳米光学”相关学科领域的报告。天津大学刘铁根教授做了题为《光纤传感网与物联网》的报告。 ...
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