JJF 1062-1999
电离真空计校准规范
Calibration Specification of Ionization Vacuum Gauge
2022-10
- 标准号
- JJF 1062-1999
- 发布
- 1999年
- 发布单位
- 国家计量技术规范
- 替代标准
- JJF 1062-2022
- 当前最新
- JJF 1062-2022
JJF 1062-1999相似标准
推荐
直线路径上的电子
真空计或分压计在工业的诸多领域内用于过程控制，特别是在半导体工业。电离真空计用于高真空和超高真空范围内的现场校准和监测。这些器件的原理是利用快速电子对气体分子进行电离，然后测量产生的离子电流。为了实现溯源，传统的电离真空计不仅必须对氮气进行单独校准，而且还必须对每种情况下使用的气体进行单独校准，因为对特定类型气体的灵敏度取决于所使用的单个器件。...
5项压力领域国家计量技术规范发布实施
电离真空计是真空测量仪器。此次修订发布的电离真空计校准规范适用于测量范围在1×10-9 Pa — 1×102 Pa的电离真空计校准。电离真空计广泛应用于航天、电子、重离子加速器、核聚变、芯片生产等领域，其量值的准确有利于科研的开展和产品质量的提升。 磁悬浮转子真空计是高真空(10-4—1)Pa范围段测量准确度最高的仪表，而且其测量过程中不会使气体量发生改变。...
校准电离真空计时,应注意哪些？
（6）电离真空计只需要加电预热10分钟就可以校准了。...
《电阻真空计校准规范》获国家立项
(校准零点需对被测真空系统抽真空，一旦电离规测得真空度高于1.0^-1Pa(如9.9X10^-2Pa)，按“校零”按钮，对应指示灯亮或快速闪烁，真空计自动校正零点，当显示1.0^-1Pa时，表示规管零点已校准。对于无自动零点校准的电阻真空计，可通过操作面板上的电位器旋钮手动调整。 校准完零点后，需对其满度校正。...