在500 Hz-10 kHz频率范围内,光子自相关法与现有的自由场互易法实现的声压量值偏差均小于1 dB。 基于光子相关技术实现自由场声压量值的研究,有望替代现有的基于实验室标准传声器互易技术的声压基准,使得基准装置及其原级校准技术不局限于特定类型的标准传感器,最终实现空气声量值传递的扁平化。...
◆ 用于抑制生长的自组装单分子膜(SAMS)注入◆ 多腔体集成系统,比如与感应耦合等离子体-化学气相沉积(ICP-CVD)腔室(生长非晶硅)、溅射(sputter)腔室或原子层刻蚀(ALE)腔室结合使用◆ 用于原表面改性或刻蚀的基底偏压牛津仪器的设备可实现优异的控制效果,包括:◆ 通过MFC,快速ALD阀门和快速自动压力控制,可获得可调的前驱物/气体注入,以实现一面成核另一面不成核的现象。...
耦合腔互易法声压基准,从无到有建立了空气中的次声波测量能力,在频率范围和测量不确定度水平上达到与英国NPL、德国PTB等发达国家实验室同等水平,解决了空气中次声波的量值溯源问题。国际关键比对结果验证表明,基准整体能力达到国际先进水平。...
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