结论 利用氦质谱检漏仪,采用相对比对法,可以对氦真空参考漏孔进行校准,满足测试要求精度较低的参考漏孔校准。...
测试数据的重复性采用了贝赛尔公式计算相对实验标准偏差得到,选取重复性最大为测量重复性。标准漏率值与拟合公式计算漏率值最大相对偏差按均匀分布来计算拟合公式而引入的不确定度。...
标准漏孔的常用校准方法有定容升压法和氦质谱检漏仪比较法。 (1)定容升压法 定容升压法校准系统示意图如图12所示。 图12:定容升压法校准标准漏孔系统示意图 经预抽并烘烤容积V后,标准漏孔进气端压力p1<1.33×103Pa,而V达到极限真空。...
校准过程应按照仪器说明书的要求,将探头慢慢靠近标准漏孔(或漏率校准装置的漏孔)至指定的距离(一般为5mm~10mm) ,待读数稳定后测量示值误差。由于标准漏孔(或漏率校准装置) 复现的泄漏值都较小,容易受到周围空气流动的影响,所以应避免测试环境中有空气流动或压力的突变。 示值重复性是评估仪器提供相近示值的能力,而稳定性是评估计量特性随时间恒定的能力。...
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