SJ 3244.3-1989
砷化镓、磷化铟单晶晶向的测量方法已作废

Methods of measurement for crystal-orientation of single crystal of Gallium arsenide and Indium phosphide

SJ 3244.3-1989 发布历史

本标准规定了砷化镓、磷化铟单晶锭端面及晶片晶向的X射线衍射测量原理、测量步骤、结果计算以及精度。 本标准适用于晶片表面大体平行于(10^(·)以内)某一低密勒指数原子面的单晶片的晶向测定。

SJ 3244.3-1989由行业标准-电子 CN-SJ 发布于 1989-03-20，并于 1989-03-25 实施，于 2010-02-25 废止。

SJ 3244.3-1989 在中国标准分类中归属于: H83 化合物半导体材料，在国际标准分类中归属于: 29.045 半导体材料。

SJ 3244.3-1989的历代版本如下：

• 1989年03月20日 SJ 3244.3-1989 砷化镓、磷化铟单晶晶向的测量方法

标准号

SJ 3244.3-1989

发布日期

1989年03月20日

实施日期

1989年03月25日

废止日期

2010-02-25

中国标准分类号

H83

国际标准分类号

29.045

发布单位

CN-SJ

适用范围

本标准规定了砷化镓、磷化铟单晶锭端面及晶片晶向的X射线衍射测量原理、测量步骤、结果计算以及精度。 本标准适用于晶片表面大体平行于(10^(·)以内)某一低密勒指数原子面的单晶片的晶向测定。