可获得高度局部化的信息,是分析晶体 结构、晶体不完整性、微区成分的综合技术。 1952年英国工程师制造岀了*台扫描电子显微镜(SEM)O扫描 电子显微术电子束以光栅状方式照射试样表面,分析入射电子和试样表面物质相互作用产生的各种信息来研究试样表面微区形貌、成分和晶体学性质的一种电子显微技术。 1983年IBM公司苏黎世实验室的两位科学家发明了所 谓的扫描隧道显微镜。...
会聚束电子衍射(CBD)如果利用透射电子显微镜的聚光系统产生一个束斑很小的会聚电子束照射样品,形成发散的透射束和衍射束(图3)。此时,由于存在一定范围以内的入射方向,通常的衍射“斑点”扩展成为衍射“圆盘”,典型的花样如图4所示。除了被分析的区域小(100nm以下)以外,会聚束电子衍射的主要优点在于通过圆盘内晶带轴花样及其精细结构的分析,可以提供关于晶体对称性、点阵电势、色散面几何等大量结构信息。...
扫描电镜有较高的放大倍数,2-20万倍之间连续可调;有很大的景深,视野大,成像富有立体感,可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构。试样制备简单。 目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪装置,这样可以同时进行显微组织形貌的观察和微区成分分析,因此它是当今十分有用的科学研究仪器。2、透射电子显微镜在材料科学 、生物学上应用较多。...
目前扫描电子显微镜的最主要组合分析功能有:X射线显微分析系统(即能谱仪,EDS),主要用于元素的定性和定量分析,并可分析样品微区的化学成分等信息;电子背散射系统 (即结晶学分析系统),主要用于晶体和矿物的研究。...
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