SJ 20711-1998
分步投影曝光机通用规范

General specification for step and repeat exposure systems

标准号

SJ 20711-1998

发布日期

1998年03月18日

实施日期

1998年05月01日

废止日期

无

中国标准分类号

N46

发布单位

CN-SJ

适用范围

本标准规定了分步投影曝光机的分类、要求、质量保证规定和交货准备等。 本标准适用于超大规范集成电路(VLSI)和专用集成芯片(ASIC)以及其它器件的微细光刻设备。其它类型的曝光机也可参照使用。