SJ/T 31067-1994
S枪磁控溅射台完好要求和检查评定方法

Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for S-gun magnetron sputtering coaters

SJT31067-1994, SJ31067-1994

2010-02

标准号
SJ/T 31067-1994
别名
SJT31067-1994, SJ31067-1994
发布单位
行业标准-电子
当前最新
SJ/T 31067-1994
 
 
适用范围
本标准规定了S枪磁控溅射台的完好要求和检查、评定方法。 本标准适用于进口S枪磁溅射台。

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