SJ/T 10315-1992
四探针探头通用技术条件

Generic specification of Four-point probe

标准号

SJ/T 10315-1992

发布日期

1992年06月15日

实施日期

1992年12月01日

废止日期

无

中国标准分类号

L98

国际标准分类号

17.220

发布单位

CN-SJ

适用范围

本标准规定了四探针探头的术语、技术要求、测试方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存要求等。 本标准适用于电子和冶金等行业所使用的四探针法测试半导体棒、片、薄层以及金属薄层的电阻率、薄层电阻和电阻的探头。 本标准与3J/T 10314《直流四探针电阻率测试仪通用技术条件》标准配套使用。

SJ/T 10315-1992 中可能用到的仪器设备