SJ/T 31108-1994
CG3000型单晶炉完好要求和检查评定方法
Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for CG3000 mono-crystal furnaces
SJT31108-1994, SJ31108-1994
2010-02
SJ/T 31108-1994 发布历史
SJ/T 31108-1994由行业标准-电子 CN-SJ 发布于 ，于 2010-02-25 废止。
SJ/T 31108-1994 在中国标准分类中归属于: L97 加工专用设备，在国际标准分类中归属于: 31-550 电子产品生产设备。
SJ/T 31108-1994 CG3000型单晶炉完好要求和检查评定方法的最新版本是哪一版？
最新版本是 SJ/T 31108-1994 。
SJ/T 31108-1994的历代版本如下：
- 1970年 SJ/T 31108-1994 CG3000型单晶炉完好要求和检查评定方法
本标准规定了CG-3000型单晶炉的完好要求和检查、评定方法。 本标准适用于半导体器件生产用单晶炉。
