SJ/T 31082-1994
真空镀膜设备完好要求和检查评定方法
Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for vacuum coating equipment
SJT31082-1994, SJ31082-1994
- 标准号
- SJ/T 31082-1994
- 别名
- SJT31082-1994, SJ31082-1994
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ/T 31082-1994
- 适用范围
- 本标准规定了真空镀膜设备的完好要求和检查、评定方法。 标准适用于极限压力在1×10^(-5)～1×10^(-4)pa范围内的各种型号真空镀膜设备。