SJ/T 31132-1994
ASM型微机扩散炉完好要求和检查评定方法
Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for ASM microcomputer-controlled diffusion furnaces
SJT31132-1994, SJ31132-1994
2010-02
说明：
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- 标准号
- SJ/T 31132-1994
- 别名
- SJT31132-1994
SJ31132-1994 - 发布单位
- 行业标准-电子
- 当前最新
- SJ/T 31132-1994
- 本标准规定了ASM型微机扩散炉的完好要求和检查、评定方法。 本标准适用于ASM型微机扩散炉。其它型号的微机扩散炉也可参照执行。