SJ/T 31110-1994
AMV-1284型硅外延炉完好要求和检查评定方法已作废

Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for AMV-1284 silicon epitaxial furnaces

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标准号

SJ/T 31110-1994

发布日期

实施日期

废止日期

2010-02-25

中国标准分类号

L97

国际标准分类号

31-550

发布单位

CN-SJ

适用范围

本标准规定了AMV-1284型硅外延炉的完好要求和检查、评定方法。 本标准适用于AMV-1284型和类似结构的其它型号的硅外延炉。