SJ/T 31112-1994
WGK型微控扩散系统完好要求和检查评定方法

Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for WGK micro-control diffusion system


SJ/T 31112-1994 发布历史

本标准规定了WGK型微控扩散系统的完好要求和检查、评定方法。 本标准适用于WGK型微控扩散系统。

SJ/T 31112-1994由行业标准-电子 CN-SJ 发布于 。

SJ/T 31112-1994 在中国标准分类中归属于: L97 加工专用设备,在国际标准分类中归属于: 31-550 电子产品生产设备。

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  •  SJ/T 31112-1994 WGK型微控扩散系统完好要求和检查评定方法

 

 

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标准号
SJ/T 31112-1994
发布日期
实施日期
废止日期
中国标准分类号
L97
国际标准分类号
31-550
发布单位
CN-SJ
适用范围
本标准规定了WGK型微控扩散系统的完好要求和检查、评定方法。 本标准适用于WGK型微控扩散系统。




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