“压力传感器”术语 压阻式压力传感器硅基压阻式压力传感器由薄型膜片制成,在膜片中嵌入电阻器,形成惠斯登电桥。当压力施加于膜片上时,电阻率因机械应力(压阻效应)而产生变化。通过在桥电路上施加电压,可产生一个与压力成正比的传感器输出信号。硅硅对于制造压阻式压力传感器芯片大有益处。得益于单晶结构,加载压力之后,硅不会发生塑性变形,而会恢复到其初始状态,且无变形。...
压阻式压力传感器是利用半导体材料硅在受压后,电阻率改变与所受压力有一定关系的原理制做的。用集成电路工艺在单晶硅膜片的特定晶向上扩散一组等值应变电阻,将电阻接成电桥形式。当压力发生变化时,单晶硅产生应变,应变使电阻值发生与被测压力成比例的变化,电桥失去平衡,输出一电压信号至显示仪表显示。...
压力传感器的种类繁多,如电阻应变片压力传感器、半导体应变片压力传感器、压阻式压力传感器、电感式压力传感器、电容式压力传感器、谐振式压力传感器等。目前应用较为广泛的压力传感器有:扩散硅压阻式压力传感器、陶瓷压阻压力传感器、溅射薄膜压力传感器、电容压力传感器、耐高温特性的蓝宝石压力传感器。但应用最为广泛的是压阻式压力传感器,它具有极低的价格和较高的精度以及较好的线性特性。...
到目前为止, 压力传感器的力传递和传感机制主要包括压阻式、压容式、压电式、以及新兴的摩擦电场效应晶体管放大机制。尽管已经提出了许多复杂的策略来实现制备高性能压力传感器, 但目前的许多研究只涉及传感器质量的一个或几个方面。电容式压力传感器的制作工艺简单, 易于集成, 但这些传感器的低灵敏度和长响应时间限制了它们的应用。...
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