SJ/T 31096-1994
精密硅片磨床完好要求和检查评定方法

Readiness requirements and methods of inspection and assessment for high-precision silicon wafer grinding machines

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标准号

SJ/T 31096-1994

发布日期

实施日期

废止日期

无

中国标准分类号

L97

国际标准分类号

31-550

发布单位

CN-SJ

适用范围

本标准规定了精密硅片磨床的完好要求与检查、评定方法。 本标准适用于CM73-Ⅲ型精密硅片磨床。其它类型的硅片磨床也可参照本标准执行。