SJ 1780-1981
普通二极型溅射离子泵.技术条件

Ordinary two-electrode sputtering ion pump--Performance specification

标准号

SJ 1780-1981

发布日期

实施日期

1981年08月01日

废止日期

无

中国标准分类号

L99

国际标准分类号

31-550

发布单位

CN-SJ