SJ/T 10583-1994
气体质量流量控制器通用技术条件
- 标准号
- SJ/T 10583-1994
- 发布日期
- 实施日期
- 废止日期
- 2016-09-01
- 中国标准分类号
- J72
- 国际标准分类号
- 23.120
- 发布单位
- 行业标准-电子
- 代替标准
- SJ/T 10583-2016
- 适用范围
- 本标准规定了气体质量流量控制器的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。 本标准适用于采用毛细管传热温差量热法原理进行测量的气体质量流量控制器。该控制器广泛应用于半导体集成电路工艺设备、光纤熔炼，以及化工、冶金、卫生等部门。