SJ/T 11275-2002
卧式液相外延系统通用规范

Generic specification for horizontal liquid phase epitaxial system

标准号

SJ/T 11275-2002

发布日期

2002年10月30日

实施日期

2003年03月01日

废止日期

无

中国标准分类号

L92

国际标准分类号

29.260

发布单位

CN-SJ

适用范围

本规范规定了卧式液相外延系统的术语、产品型号及命名方法、技术要求、试验方法、检验规则以及包裝、运输、贮存。 本规范适用于电子行业光电子器件研制、生产工艺中的卧式液相外延系统。其他行业的类似设备，亦可参照执行。

SJ/T 11275-2002 中可能用到的仪器设备