SJ/T 31120-1994
KSM-MJB3型掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法已作废

Requirements of readiness and methods of inspection and assessment for KSM-MJB3 mask alignment and exposure systems

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标准号

SJ/T 31120-1994

发布日期

实施日期

废止日期

2010-02-25

中国标准分类号

L97

国际标准分类号

31-550

发布单位

CN-SJ

适用范围

本标准规定了KSM-MJB3型掩模对准曝光机的完好要求和检查、评定方法； 本标准适用于德国产KSM-MJB3型曝光机；也适用于德国产KSM、MA56和美国产 CA800型掩模对准曝光机。