ASME B89.1.8-2011(R2021)
位移测量激光干涉仪的性能评估

Performance Evaluation of Displacement-Measuring Laser Interferometers


ASME B89.1.8-2011(R2021) 中,可能用到以下仪器

 

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ASME B89.1.8-2011(R2021)

标准号
ASME B89.1.8-2011(R2021)
发布
2011年
发布单位
美国机械工程师协会
当前最新
ASME B89.1.8-2011(R2021)
 
 
B89.1.8 目前仅限于电离气体激光干涉仪系统。此版本的激光标准仅考虑单色激光。单色将包括零差系统和外差系统(参见附录 E)。

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ASME B89.1.8-2011(R2021) 中可能用到的仪器设备





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