NS-EN ISO 14644-10:2013
洁净室和相关受控环境 第10部分：按化学浓度分类表面清洁度 (ISO 14644-10:2013)

Cleanrooms and associated controlled environments — Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration (ISO 14644-10:2013)


标准号
NS-EN ISO 14644-10:2013
发布
2013年
发布单位
SCC
当前最新
NS-EN ISO 14644-10:2013
 
 
适用范围
ADOPTED_FROM:EN ISO 14644-10:2013 ISO 14644-10:2012 定义了洁净室表面清洁度的分类系统，涉及化学化合物或元素（包括分子、离子、原子和粒子）的存在。它适用于洁净室和相关受控环境中的所有固体表面，如墙壁、天花板、地板、工作环境、工具、设备和装置。

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