这些大功率器件一方面可以构成单独的发射机在雷达上应用,另一方面可以作为子阵式发射机在无源相控阵雷达上应用。相比于全固态的有源相控阵雷达,基于大功率真空电子器件的无源相控阵雷达有着结构简单,使用方便,成本低的优势。大功率行波管一般具有上百千瓦的功率,存在散热、聚焦、振荡抑制、打火等一系列技术难题。美国CPI公司为代表的国外企业在各微波频段都有大功率行波管的产品。...
与半导体微细加工工艺不同的是,真空电子器件结构的宽高比并不是非常大,但是绝对深度很深,这也导致真空电子器件所需要的微细加工工艺有着自己的特殊性和难点[26]。...
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