T/JGXH 005-2020
超快激光精密微纳加工设备
Ultrafast laser precision micro & nano machining equipment
- 标准号
- T/JGXH 005-2020
- 发布
- 2020年
- 发布单位
- 中国团体标准
- 当前最新
- T/JGXH 005-2020
- 适用范围
- 本文件规定了超快激光精密微纳加工设备的主要技术参数、技术要求、安全与防护、精度检验、检验方法、检验规则及标志、包装、运输与储存。 本文件适用于超快激光精密微纳加工设备的研制、生产和交付。
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