IEC 63068-3:2020
半导体器件.功率器件用碳化硅同质外延片中缺陷的无损识别标准.第3部分:用光致发光法检测缺陷的试验方法
Semiconductor devices - Non-destructive recognition criteria of defects in silicon carbide homoepitaxial wafer for power devices - Part 3: Test method for defects using photoluminescence
- 标准号
- IEC 63068-3:2020
- 发布
- 2020年
- 发布单位
- 国际电工委员会
- 当前最新
- IEC 63068-3:2020
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