T/CSTM 01199-2024
多层金属薄膜 层结构测量分析方法 X射线光电子能谱

Multilayer metal film-Measurement and analysis method of layer structure-X-ray photoelectron spectroscopy


 

 

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标准号
T/CSTM 01199-2024
发布
2024年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/CSTM 01199-2024
 
 
适用范围
本文件规定了X射线光电子能谱仪（XPS）深度剖析测量多层金属薄膜层结构的分析方法。 本文件适用于70 nm~240 nm深度内纳米尺度多层金属薄膜层成分、化学态、膜厚的表征。

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