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影像测量仪可以自动抓取数据点,测量点、线、圆、弧、椭圆、矩形等几何特征,自动分析测量特征的各种参数,如宽度、直径、位置、直线度、圆锥度、圆柱度等各种几何尺寸。仪器特点是可以自动抓取产品的边界和表面,尤其是在测量一些弱边缘特征(如过渡曲线、圆角加工等)时能完成自动抓取。结合测量软件对测绘要素数据进行处理、评价和输出。在保证精度的前提下,测量效率更高。...
影像测量仪功能1、自动抓取数据点,测量点、线、圆、孤、椭圆、矩形等几何特征,并可自动分析测量特征的各种参数,如各类几何尺寸如宽度、直径、位置度、直线度、圆锥度、圆柱度等;2、构造特征及几何形位公差功能,中心点构造、交点构造,线构造、圆构造、角度构造,平面构造、平行度、垂直度、角度度等;3、具有X、Y、Z方向高精度测量能力 ,并且保证良好的重复性,重复精度一般为设备测量精度的1/3~1/10,甚至更高...
二维测高仪的功能特点 二维测高仪的功能特点 : 1 、 TESA 测高仪是一台独立电源的测高仪。它适用于测量外表面、内表面、台阶、 深度和间距的尺寸,它还适用于测量形状和位置误差,例如垂直度和直线度。 2 、本测高仪是一个模组化设计系统,故用户可根据使用要求,选购所需要的部分。 3 、 操作者能借助内装电子泵产生的气垫,轻快地使测高仪在平面上移动。 ...
因此,参数的影响通常会被用来控制电浆,如电浆供应源功率和蚀刻腔体压力,其也是彼此相关的。 自从单晶圆制程于1980年代初期开始使用以来,蚀刻腔体被设计用来在晶圆的每个位置上产生相似的电浆条件,以达到均匀的制程结果。但是因为晶圆边缘(图1)会有固有的电气与化学不连续性,会影响晶圆的均匀度,因此会使此目标的达成特别困难。由于从偏压面到接地或悬浮面的改变,因而造成了电压梯度在晶圆边缘产生。 ...
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