ISO 21360-4:2018
真空技术.测量真空泵性能的标准方法.第4部分：涡轮分子真空泵
Vacuum technology - Standard methods for measuring vacuum-pump performance - Part 4: Turbomolecular vacuum pumps
- 标准号
- ISO 21360-4:2018
- 发布
- 2018年
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 21360-4:2018
- 引用标准
- ISO 21360-1:2012
- 适用范围
- 本文件与 ISO 21360-1 一起规定了涡轮分子真空泵性能特征的测量方法。 它适用于所有尺寸和所有类型的涡轮分子真空泵，包括带有机械或磁力轴承的涡轮分子真空泵； ——轴上有或没有附加的拖动级或其他泵级； ——带有一个或多个入口。 由于涡轮分子真空泵由主泵支持，因此其性能不能完全由体积流量曲线来定义。 此外，涡轮分子真空泵的驱动装置和前级压力对其性能也很重要。 以下是完整的性能特征： ——有关涡轮分子真空泵的吞吐量和前级压力的信息； ——压缩比曲线（压缩比与涡轮分子真空泵的前级压力）。
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